RF Güç Kaynaklı Magnetron Saçtırma Sistemi

emum-pvd-rf-guc-kaynakli-magnetron-sactirma-sistemi

Marka / Model

Nanovak NVTH-350

Özellikler

Biriktirme Kazanı : 33 x 33 x 37,5 cm
Vakum Seviyesi: 10-7 Torr
Numune Boyutu: Ø 4 inç (maks.)
Numune Isıtma: Oda. sıc. – 300 °C
Numune Döndürme: Evet
Akış Kontrolcüsü: Ar için bir adet
Katod: Bir adet, Ø 2 inç
Güç Kaynağı: RF güç kaynağı,
13,56 MHz, 300W
Kalınlık Ölçüm Birimi: 1-4 QCM ile 0,1Å/s

Amaç

RF güç kaynaklı magnetron saçtırma sistemi metaller, yarıiletkenler, dielektrikler, transparan oksit iletkenler vb., farklı türdeki ince filmleri, ITO kaplı PET veya cam, silikon vb., çeşitli altlıklar üzerinde üretmek için kullanılmaktadır.

Örnek Teslim Şartları: 

 

İletişim: 

EMUM fiyat kataloğu için tıklayınız.
Endüstriyel hizmet başvuru dilekçesi için tıklayınız.

Yetkili: Cesim Narmanoğlu – Numune Kabul Birimi | Telefon: 0232 301 90 10 | E-Posta: cesim.narmanoglu@deu.edu.tr

EMUM Sekreterlik | Telefon: 0232 301 90 01 | E-Posta: emum@deu.edu.tr