Marka / Model 

Neocera EX350

 

Özellikler

Altlık Boyutu: 10mm x 10mm ile Ø 50,8 mm
Biriktirme Oda Boyutu: Ø 457,2 mm
Vakum: 5 x 10-7 Torr standart
UHV Yükseltmeleri ile 5 x 10-9 Torr
Altlık Sıcaklığı: 850 °C (maks.)
Çoklu Hedef Tutucu: 6 x 1 inç veya 3 x 2 inç
Kütle Akış Kontrolleri: Oksijen için bir MFC standart, opsiyonel ilaveler

 

emum-pld (2)

Amaç 

Darbeli Lazer Biriktirme (PLD) sistemi, çoklu hedefleri ve alt tabakaları tutabilen yüksek bir vakum odasına sahip bir 248nm Kripton Flor lazeri içeren sağlam ve çok yönlü bir ince film kaplama sistemidir. Lazer, GAM lazer tarafından üretilir. Böylece PLD sisteminin temel çalışma prensipleri şöyledir: KrF lazerinden 248 nm dalgaboylu ışık örnek odasına girer ve hedefi vurur. Hedeften malzeme saçtırılır ve bu malzeme altlığa doğru hareket eder. Lazer ışığı, 1 ile 20 Hz arasında, 1,1 J/cm² kadar yüksek akıcılık değerleriyle atım yapar. Ablasyon sırasında hedef, hedefin eşit şekilde ablasyon yapmasını sağlamak için lazer ışığı altında ileri geri hareket eder. PLD cihazı, altlık üzerinde YBCO süper iletken vb. hedef malzemeler ile aynı bileşimli ince filmlerin hassas bir şekilde biriktirilmesi için kullanılır.