Amaç 

Nano indentasyon test cihazı değişik malzemelerden oluşturulan ince filmlerin mekanik özelliklerini (sertlik, elastisite modülü) belirlemekte kullanılır. Uygun bir indenter kullanılarak örnek yüzeyine dik olacak şekilde belirlenen bir maksimum değere kadar yük uygulanır ve bu maximum yük değerine ulaştıktan sonra tekrar dereceli olarak geri yükleme yapılır. Yükleme ve geri yükleme sonucunda elde edilen Yük (N) – Derinlik (nm) eğrileri analiz edilerek numunenin mekanik özellikleri belirlenir.

Kazıma test cihazı ince film ve kaplamaların yüzeylerinin kırılma, deformasyon ve yapışma gibi mekanik özelliklerini belirlemek için kullanılır. Aynı zamanda altlık ve film sisteminin sürtünme ve yapışma kuvvetini karakterize etmede kullanılır.

Örnek Teslim Şartları: 

• Bütün örnekler düz ve parlatılmış olmalıdır.

• Örnekler maksimum 15 milimetrelik bir çap içerisine yerleştirilebilmelidir.

• İncelenecek yüzey yerleştirme yüzeyine paralel ve 8 milimetreden küçük olmalıdır.