emum-torr-dc-2

Marka / Model

Torr International CRC-600

Özellikler

Biriktirme Kazanı : 20 x 24 inç
Vakum Seviyesi: 10-7 Torr
Numune Boyutu: Ø 4 inç (maks.)
Akış Kontrolcüsü: Ar için bir adet
Katod: Bir adet, Ø 2 inç
Güç Kaynağı: DC
Kalınlık Ölçüm Birimi: 1-4 QCM ile 0,1Å/s

Amaç

DC güç kaynaklı magnetron saçtırma sistemi metal türdeki ince filmleri, ITO kaplı PET, ITO kaplı CAM, cam, kuartz, silikon vb., çeşitli altlıklar üzerinde üretmek için kullanılmaktadır.

emum-pvd-rf-guc-kaynakli-magnetron-sactirma-sistemi

Marka / Model

Nanovak NVTH-350

Özellikler

Biriktirme Kazanı : 33 x 33 x 37,5 cm
Vakum Seviyesi: 10-7 Torr
Numune Boyutu: Ø 4 inç (maks.)
Numune Isıtma: Oda. sıc. – 300 °C
Numune Döndürme: Evet
Akış Kontrolcüsü: Ar için bir adet
Katod: Bir adet, Ø 2 inç
Güç Kaynağı: RF güç kaynağı,
13,56 MHz, 300W
Kalınlık Ölçüm Birimi: 1-4 QCM ile 0,1Å/s

Amaç

RF güç kaynaklı magnetron saçtırma sistemi metaller, yarıiletkenler, dielektrikler, transparan oksit iletkenler vb., farklı türdeki ince filmleri, ITO kaplı PET veya cam, silikon vb., çeşitli altlıklar üzerinde üretmek için kullanılmaktadır.